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六氟化硫 SF6:绝缘介质、蚀刻气体


六氟化硫:Sulfur Hexafluoride,化学式SF6,作为超高压绝缘介质,在电子电气设备、大容量变压器和高压电缆中作为绝缘材料使用,如断路器。
应用于微电子技术领域,用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。
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